光氧催化废气处理洁净原理为两种机制作用而成：一是化学性的表面污染物分解作用，利用光触媒吸收光线所产生的高氧化力的氢氧自由基等活性物质，分解表面污染物，使污染物附着能力变弱而易被雨水带走，达到清洗的效果清洗；二是物理性的除污作用，利用光触媒吸收光线所产生的超亲水性，使水容易进入污染物与底材间隙之中，而使污染物易被雨水冲刷掉落。一般而言，奈米光触媒的『除污』功能系指化学性作用除污，例如：表面上的有机污染物在日光与光触媒长时间作用下，可被分解为水与二氧化碳，而从物质表面逸散消失。但在很多情况下，污染物尚未被分解至水与二氧化碳时，就已经被雨水自表面冲刷掉落，达成自我洁净功能。
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