当等离子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面时，荷电在电场浸染下颗粒污染物被集尘极收集。且它在零件设备上还具有下列特征：结构合理、紧凑、体积适中、重量轻、选材寿命长、维护精练、使用耗材成本低。采用深冷法设备，能耗高、投资年夜、下场差。
　　由此可见，低温等离子废气处理设备在功能上具有净化空气和调节环境的作用，并且它的组成零件还将朝着多技术型领域不断发展。