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低温等离子废气处理设备

  低温等离子体的电离率较低,电子温度远高于离子温度,离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子体是非热平衡等离子体,低温等离子体中存在着大量的、种类繁多的活性粒子,比通常的化学反映所产生的活性粒子种类更多、活性更强,更易于和所接触的材料表面发生反映,因此它们被用来对材料表面进行改性处理。

  与传统的方法相比,等离子体表面处理具有成本低、无废弃物、无污染等显著的优点,同时可以得到传统的化学方法难以达到的处理效果。现在低温等离子设备广泛运用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等多种领域。


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